分析機能

角度分解 XPS (ARXPS)

角度分解 XPS

法線方向付近または浅い角度の光電子取り込み角、それぞれの金属上酸化薄膜の分析では、光電子取り込み角度が浅い場合は、酸化ピークがより大きい相対強度になるスペクトルが得られます

XPS の情報深さは数ナノメートルで、電子の運動エネルギーと分析対象の材料によって決まります。一方、角度分解 XPS (ARXPS) は、収集が行われる電子の放出角度を変化させ、その結果として異なる深さからの電子の検出が可能になる手法です。ARXPS では、超薄膜の厚み組成の情報が得られます。この測定は、スパッタデプスプロファイリングとは違って非破壊測定です。

ARXPS が便利なのは、主に次の三つの理由からです。

ARXPS 測定では、以下の情報が得られます。

データ取得

角度分解 XPS データは、一連の試料傾斜角を使って収集されます

従来の ARXPS 実験は、アナライザーの光電子取得角度 (見込み角度) を制限し、測定角度範囲内で角度を少しずつ変化させ、順次 XPS 測定することにより、連続的に行われます。これは通常、アナライザーに対して試料を傾けることにより行われます。

角度分解スペクトルを並列で収集できる Thermo Scientific Theta Probe の配置

Thermo Scientific Theta Probe では、試料を傾けることなく ARXPS スペクトルが得られます。Theta Probeは、角度分解データを並列収集することができます。モノクロメーター、レンズ、アナライザー、検出器の配置がこの装置による約 1° の角度分解能で 60° の範囲にわたる XPS データの収集を可能にします。

2 次元検出器を使用することで、取得される光電子に関して検出器の一つの方向で運動エネルギーに応じて分散します。他の方向では、それが試料から放出される角度に応じて分散します。

シリアル ARXP と比較した場合のパラレル ARXPS の利点は、以下の通りです。

一般的な用途

 
  • プラズマ処理
  • ゲート誘導体
  • バイオコーティング
  • グラフェン層厚