MAGCIS

単原子およびガスクラスターイオン源

Thermo Scientific™ MAGCIS™ のデュアルモードイオン源は、同じ XPS 装置内で無機物から有機物まで、双方のデプスプロファイリングと表面クリーニングを行うことを可能にします。ガスクラスタースパッタリングと単原子スパッタリングの切り替えは Avantage ソフトウェアによって制御され、ほんの数秒で完了します。


デュアルモードイオン源の利点

タッチスクリーンの耐油性コーティングの研究、バイオメディカルデバイスのプラズマ堆積コーティングの測定、有機 EL や太陽電池の分析には、デプスプロファイリングを使用した材料のそれぞれの層のエッチングと測定が必要です。

デプスプロファイリングと表面クリーニングに長年使われてきた単原子イオン源には、ポリマーなどの柔らかい材料を使用時に制限があります。これらのイオンが表面を損傷し、元素の化学的特性を変化させてしまうのです。新しいガスクラスターイオン源は、この制限を克服し、これまでは XPS のデプスプロファイリングでは難しかったさまざまな種類の材料の分析を可能にします。


最近の公表


新しい材料の XPS 分析を可能に

デュアルモードイオン源では、残される表面の化学特性を変えることなく硬い材料も柔らかい材料も除去できます。単原子アルゴンイオンを生成する線源の取り付けられた XPS システムは、無機材料に特に良好に働きます。ガスクラスターイオン源は、表面に届くエネルギーを減らすことによって損傷を最小限に抑えます。

ガス原子の緩く結合したクラスターを使用して、入射粒子を従来よりはるかに重くすることにより、材料を除去しながらもエネルギーおよび単一の電荷をクラスター全体に広げることができるようになりました。これにより、クラスターの衝突によって材料が受けるエネルギーが大幅に減少するため、残っている表面の「損傷を受けるゾーン」が大きく減少し、その結果、表面の実際の化学特性を正確に表す XPS スペクトルが得られます。


MAGCIS でのマルチモードのデプスプロファイリング

材料は通常 1 種類単独で使用されていることはまれで、有機化合物と無機化合物の混合物であったりします。一つの例として、有機 FET を単原子イオンとガスクラスターイオンの双方でエッチングした例を示します。

MAGCIS 線源の双方の動作モードが、有機材料と無機材料両方のデプスプロファイルを容易にします。Thermo Scientific Avantage ソフトウェアは、実験中のシンプルなモード切り替えを可能にします。

MAGCIS 線源は、繊細な有機金属の化学特性を保持するクラスターモードでのプロファイルの最初の部分を実行してから、無機層のために単原子モードに変更してデバイス全体の完全なプロファイルを生成します。

一般的な用途


  • ポリマーの多層構造の深度プロファイル
  • 酸化物およびガラスの表面洗浄
  • 混合材料 (ポリマー/無機物) の深度プロファイル
  • 金属と酸化物の深度プロファイル
  • ポリマーエレクトロニクスについて
  • グラフェンベースのデバイスの分析
  • バイオメディカルコーティングの適合性
  • 布処理の比較
  • 有機 & 無機太陽電池
  • 角度分解 XPS のための高誘電率材料の準備