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XPS とは?

表面および薄膜の分析

光電子放出プロセス

原子または分子が X 線光子を吸収すると、電子が放出されます。電子の運動エネルギー (KE) は、励起 X 線のエネルギー (hν) と結合エネルギー (BE) によって決まります。それは、表面から電子を取り除くのに必要なエネルギーを示します。

XPS 分析に関わる光子放出プロセス。黒丸が電子を表し、線は分析対象材料内のエネルギーレベルを表します。このプロセスを表す式は、KE = hν - BE です。

放出された電子の運動エネルギーを計測することにより、どの物質が材料の表面近くにあるか、その化学状態、および電子の結合エネルギーを調べることができます。結合エネルギーは、以下のような多数の因子によって決まります。

光イオン化断面積は原子の化学環境に依存しないため、XPS は定量技術です。

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