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XPS とは?

表面および薄膜の分析

スペクトロスコピー

さまざまなバリウムピークと酸素ピーク、および炭素ピークを示す酸化バリウムからのサーベイスペクトル。

XPS スペクトルを示すために、幅広いエネルギー範囲を使用して酸化バリウムのサーベイスペクトルを生成しました。このスペクトルは、さまざまなバリウムピークと酸素ピーク、ならびに表面の不純物である炭素ピークを示します。酸化バリウムのスペクトルは、最新の XPS スペクトロメーターで約 10 秒で収集できます。酸化バリウムはインシュレーターなので、検査試料の電荷を制御するために、分析中には低エネルギー電子ビームを検査試料上に向けました。スペクトルのピークの下には相当のバックグラウンドがありますが、これは、試料表面から離れる前に非弾性的に散乱した電子により生じたものです。このような散乱は、電子の運動エネルギーを減らし、ピークから強度を減らします。スペクトルの定量を行う前に、スペクトルからバックグラウンドを除去する必要があります。

スピンキャスト PET (ポリエチレンテレフタレート) とシート PET からの XPS スペクトルの C 1s 領域。炭素ははっきりと異なる 3 種類の化学状態で存在します。PET の構造を図内に示します。(イギリス、デアズベリー 、RUSTI の Dr. G. Beamson によるスペクトル。)

また、XPS スペクトルから化学状態を特定することも可能です。2 種類の前処理を施したポリエチレンテレフタレート (PET) からの XPS スペクトルの C 1s 領域を図に示します。2 つの検査試料は、前処理の方法が異なっています。片方はスピンキャストで、他方はシート PET です。PET 内の炭素原子は 3 種類の化学状態で存在しており、それが XPS スペクトルの 3 つのピークに反映されています。2 つの前処理方法を行った結果、ポリマーの構造に差異ができ、これがスペクトルにも影響していて、(-O-C-) ピークがわずかにずれています。

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