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XPS とは?

表面および薄膜の分析

表面の特性化

表面層は、材料に応じて最大 3 原子層厚 (~1 nm) までと定義されています。約 10 nm までの層が超薄膜とみなされ、約 1 μm までの層が薄膜です。固体のその他の部分は、バルク材料と呼ばれます。ただし、この用語は決定的なものではなく、層の種類区別は材料やその用途に応じて変わります。

 

表面は、一つの層と別の層の間の不連続性を表すため、表面の物理特性および科学特性はバルク材料とは異なります。これらの違いは多くの場合において、材料の一番上の原子層に影響を与えます。バルク材料では、原子はすべての面がその材料を構成する原子によって規則的に囲まれています。表面の原子は、すべての面が原子によって囲まれているのではないため結合する可能性があり、これが表面の原子をバルク材料内部の原子と比べて反応性の高い状態にしています。

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